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固有頻率 |
垂直:1-2Hz 水平:1-2Hz |
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隔振方式 |
空氣彈簧 隔振橡膠 |
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調(diào)平方式 |
自動調(diào)平 |
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阻尼方式 |
多小孔空氣阻尼 |
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平臺高度 |
800mm |
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工作壓力 |
0.2~0.4MPa |
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空氣源 |
靜音空氣壓縮機 <50dB |
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隔振效率 |
垂直:5Hz時:82~88% ; 10Hz時:86~95% 水平:5Hz時:78~86% ; 10Hz時:84~92% |
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重復定位精度 |
±0.1mm |
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臺板平面度 |
≤0.05mm/m² |
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臺板粗糙度 |
≤0.8μm,表面亞光處理 |
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調(diào)節(jié)高度 |
±20mm |


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